노광이 그린 무늬는 얇은 플라스틱일 뿐이다. 그 무늬를 진짜 재료로 옮기는 것이 식각이다. 폭 20 nm, 깊이 160 nm의 홈을 옆으로는 1 nm도 넓히지 않고 파 내려가야 한다. 용액은 사방으로 녹이고, 플라스마 속 이온은 아래로만 때리고, 라디칼은 좁은 구멍 바닥까지 잘 내려가지 못한다. 이 교과서는 습식과 건식, 플라스마와 시스, RIE와 이방성, 선택비, 프로파일, ARDE, 보잉, 마이크로트렌칭까지를 시간에 따라 깎여 내려가는 단면을 직접 돌려 보며 배운다.
이 교과서를 끝내면 아래 숫자가 어디서 나오는지, 서로 어떻게 얽혀 있는지 설명할 수 있게 됩니다.
이 책은 식각 하나(타깃 EB-20: 산화막에 폭 20 nm, 깊이 160 nm, 종횡비 8의 트렌치)를 여섯 단계로 따라갑니다. 각 장은 그중 한 단계를 맡습니다.
마스크를 직접 그리고 레시피를 고르고 시간을 돌려 단면을 깎는다. 이온 각도, 바이어스, 산소와 고분자, 압력을 바꿔 EB-20의 규격을 맞추고, 보잉과 마이크로트렌치를 일부러 만들어 보는 임무를 하나씩 통과해 보자.
1~2장은 식각의 언어와 습식, 3~6장은 플라스마와 표면 반응, 7~12장은 이방성과 프로파일과 결함, 13~15장은 화학·종말점·원자층 식각, 16~17장은 응용과 실험실입니다. 각 장은 개념 → 만져 보는 그림 → 수식 → 시뮬레이터 → 타깃 파일 → 퀴즈 순서로 구성됩니다.
목적에 따라 이렇게 읽어 보세요.
식각은 노광 다음 단계이고, 그 결과는 소자와 수율로 돌아옵니다.