Interactive Process Textbook

모래에서
트랜지스터까지

칩 하나는 지름 300 mm 실리콘 원판 위에서 수백 번 막을 입히고, 빛으로 무늬를 그리고, 플라즈마로 깎고, 이온을 쏘고, 굽고, 갈아 내며 만들어진다. 이 교과서는 각 공정의 물리를 수식으로 이해하고, 조건을 바꾸면 단면·선폭·깊이가 어떻게 변하는지 시뮬레이터로 직접 확인하며, 마지막에는 CMOS 트랜지스터의 단면을 한 단계씩 쌓아 올린다.

16개 챕터50여 개 시뮬레이터2D 단면 공정 엔진공대 학부 수준
시작

숫자로 보는 반도체 공정

이 교과서를 끝내면 아래 숫자가 어디서 나오는지, 서로 어떻게 얽혀 있는지 설명할 수 있게 됩니다.

13.5 nmEUV 노광의 파장. 렌즈 대신 거울, 공기 대신 진공을 쓴다
k₁ ≥ 0.25회절이 정한 노광 해상도의 벽. 넘으려면 멀티 패터닝
0.44산화막 1 nm를 기를 때 소모되는 실리콘 두께 (nm)
~0.1 nmALD 한 사이클이 쌓는 두께. 원자층 하나에 못 미친다
√(Dt)도펀트가 퍼지는 거리. 온도 100 °C가 확산을 10배 바꾼다
60~100장첨단 로직 칩 하나에 쓰이는 노광 마스크 수

전체 챕터

순서대로 읽어도 좋고, 관심 있는 공정부터 골라 읽어도 됩니다. 각 장은 개념 → 그림 → 수식 → 시뮬레이터 → 퀴즈 순서로 구성됩니다.

추천 학습 경로

목적에 따라 이렇게 읽어 보세요.

입문 · 전체 그림

공정이 처음이라면. 큰 흐름과 대표 공정 셋, 그리고 완성 단면.

패터닝 집중

노광·감광막·식각·계측. 선폭과 프로파일이 어떻게 정해지는가.

박막 · 도핑

산화·증착·주입·열처리·CMP. 두께와 농도 분포의 물리.

소자 · 공정 통합

트랜지스터가 만들어지는 순서와 첨단 구조.

품질 · 수율

세정·계측·SPC·수율. 팹을 운영하는 숫자들.

직접 만들어 보기

원리는 대충 알고 바로 실험해 보고 싶다면.

이 사이트 사용법

읽기개념과 직관을 먼저. 영어 용어는 괄호로 병기합니다.
보기SVG 도해와 단면 시뮬레이터로 구조를 머릿속에 그립니다.
바꿔 보기슬라이더를 끝까지 움직여 보세요. 공정 창의 가장자리에서 배웁니다.
쌓아 보기12장과 15장에서 공정을 한 단계씩 쌓아 단면을 완성합니다.
확인하기장마다 퀴즈, 마지막 장에서 종합 퀴즈로 마무리합니다.