Chapter 16

용어집 & 종합 퀴즈

테스트 현장의 대화는 약어로 가득하다. DPPM, ATPG, LOC, MBIST, IJTAG, ENOB, Vmin, HVST, DPAT, MSE, KGD, SLT… 이 장은 책 전체에 흩어진 용어를 한곳에 모은 사전이고, 테스트 흐름 위에 용어를 배치한 지도이며, 웨이퍼 테스트에서 실험실까지 전 범위를 점검하는 마무리 시험이다.

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용어집

검색창에 한국어(예: 가드밴드), 영어(예: overkill), 약어(예: MISR) 중 아무것이나 입력하면 바로 걸러진다. 정의 본문도 검색 대상이며, 용어 이름이 일치하는 항목이 먼저 나온다. 장 칩으로 범위를 좁히고, 가나다순·A–Z순·장 순서로 묶어 볼 수 있다. 각 항목의 링크는 그 용어를 다루는 장으로 간다.

장
정렬

용어 지도

테스트 흐름의 각 자리에 그 장의 대표 용어를 놓았다. 상자를 누르면 위 용어집이 그 장으로 걸러지고 목록으로 이동한다. 같은 상자를 다시 누르면 전체 보기로 돌아간다.

장비와 접촉 폴트와 DFT 측정과 한계 · 번인과 분류 비용과 흐름 01 개요DPPM · 10배 법칙윌리엄스–브라운 02 ATEPE · PMU · DPS스트로브 · EPA 03 인터페이스프로브 카드 · 핸들러오버드라이브 · CRES 04 DC연속성 · 누설IDDQ · ΔIDDQ 05 폴트고착 · 천이 · 셀 인식ATPG · 커버리지 06 스캔체인 · LOC · LOS압축 · X 마스킹 07 BISTLFSR · MISR · MBISTMarch · 리페어 08 JTAGTAP · 경계 스캔IJTAG · SIB 09 혼성 신호INL · DNL · ENOB지터 · BER 10 한계셔무 · Vmin · Fmax가드밴드 · GR&R 11 번인욕조 곡선 · 와이블AF · HVST 12 빈하드·소프트 빈PAT · GDBN 13 비용COT · MSE · UPH 14 흐름KGD · STDF · SDC 15 실험실민감도 · 파레토
그림 16-1. 테스트 용어 지도. 위에서 아래로 책의 순서(장비와 접촉 → 폴트와 DFT → 측정·스크리닝 → 비용과 흐름)를 따른다. 상자를 누르면 그 장의 용어만 용어집에 남는다.

종합 퀴즈

장마다 두 문제씩, 1장부터 15장까지 30문항이다. 숫자를 외우는 문제보다 "왜 그런가", "다음에 무엇을 바꾸나"를 묻는 문제가 많다. 보기를 누르면 바로 채점되고 해설이 나온다. 위쪽 점수판이 따라다니며 진행과 정답 수를 보여 주고, 다 풀면 장별 결과가 나온다. '다시 풀기'로 처음부터 다시 풀 수 있다.

정답 0 / 푼 문제 0 / 30

1. 수율 85%인 제품에서 출하 불량 50 DPPM을 맞추려 한다. 윌리엄스–브라운 식이 요구하는 결함 커버리지에 가장 가까운 것은?

DL = 1 − Y^(1−T)에서 1 − T = ln(1 − 50×10⁻⁶)/ln 0.85 ≈ 3.1×10⁻⁴, 즉 T ≈ 99.97%다. 한 가지 폴트 모델로는 닿기 어려워 여러 테스트를 겹친다. → 01장 다시 보기

2. 10배 법칙에 따르면 같은 불량을 잡는 비용이 가장 작은 곳은?

TB-7 기준 웨이퍼 $3, 파이널 $5, 보드 $50, 완제품 $500이다. 일찍 잡을수록 버리는 부가가치가 작다. → 01장 다시 보기

3. ATE 채널에서 DUT 출력 전압을 문턱과 비교해 0/1/Z를 판정하는 시점을 정하는 것은?

비교기는 타이밍 생성기가 만든 스트로브 시점(또는 창)에 출력을 샘플링한다. 출력 지연 뒤, 다음 변화 전에 두어야 한다. → 02장 다시 보기

4. 누설 전류를 재기 위해 핀에 전압을 걸고 흐르는 전류를 측정하는 장치는?

PMU(정밀 측정 장치)는 FVMI(전압 인가·전류 측정)와 FIMV를 한다. 연속성·누설 테스트의 도구다. → 02장 다시 보기

5. 웨이퍼 테스트에서 접촉 저항이 서서히 오르는 추세를 보일 때 가장 먼저 할 조치는?

탐침 끝의 산화물·이물이 접촉 저항을 올린다. 클리닝 주기는 접촉 저항 추이로 정한다. 방치하면 연속성 불량으로 과잉 불량이 생긴다. → 03장 다시 보기

6. 멀티 사이트 수를 4에서 8로 늘렸는데 터치다운 시간이 거의 두 배가 되었다. 가장 그럴듯한 원인은?

MSE가 낮으면 사이트를 늘려도 시간이 같이 는다. 아날로그 측정기나 전원 채널을 사이트끼리 나눠 쓰면 직렬화되어 효율이 떨어진다. → 03장 다시 보기

7. 5 nm급 TB-7에서 절대 IDDQ 한계 대신 ΔIDDQ를 쓰는 이유는?

상온 대기 누설이 약 30 mA로 크고 다이마다 흩어져, 결함 하나가 더하는 수십 µA가 묻힌다. 벡터 간 차이를 보면 배경이 상쇄된다. → 04장 다시 보기

8. DC 테스트를 보통 연속성 → 누설 → 전원 전류 순서로 하는 이유는?

접촉이 안 됐거나 전원 단락이 있으면 이후 측정은 무의미하고 위험하다. 값싼 검사로 먼저 걸러 내는 것이 원칙이다. → 04장 다시 보기

9. 고착 폴트 커버리지가 99.2%인데도 지연 결함이 새는 이유로 옳은 것은?

고착 테스트는 정적 논리값만 본다. 천이·경로 지연 폴트 모델과 실속도 테스트가 있어야 늦은 전환을 잡는다. → 05장 다시 보기

10. 셀 인식(cell-aware) 패턴을 추가하는 목적은?

셀 경계(핀) 수준의 폴트 모델은 셀 안의 오픈·브리지를 놓친다. 셀 레이아웃을 시뮬레이션해 뽑은 폴트로 패턴을 더 만든다. 대가로 패턴이 약 20~30% 는다. → 05장 다시 보기

11. TB-7 스캔 시간(약 0.8 s)을 줄이려 할 때 시프트 주파수를 100 MHz 위로 올리지 못하는 주된 이유는?

시프트 동안 토글률이 기능 동작보다 높아 전원망 전압이 떨어지고, 이것이 오판(과잉 불량)을 만든다. 그래서 압축으로 체인을 짧게 만든다. → 06장 다시 보기

12. 스캔 압축 100배(채널 50개로 내부 체인 5,000개)를 쓸 때 반드시 함께 다뤄야 하는 것은?

컴팩터는 여러 체인 출력을 XOR로 합치므로 X 하나가 결과 전체를 알 수 없게 만든다. 마스킹이나 X 허용 컴팩터가 필요하다. → 06장 다시 보기

13. MBIST와 여분 행·열 리페어가 TB-7에 주는 효과로 옳은 것은?

24 MB SRAM의 결함 일부를 예비 행·열로 고쳐 양품으로 만든다. 퓨즈 프로그래밍은 웨이퍼 테스트에서 하므로 WS를 생략하면 이 이득도 사라진다. → 07장 다시 보기

14. 16비트 MISR로 응답을 압축할 때 불량이 정상 시그니처로 보일(별칭) 확률은 대략?

충분히 긴 무작위 오류열에 대해 n비트 MISR의 별칭 확률은 약 2⁻ⁿ이다. → 07장 다시 보기

15. TB-7에서 MBIST 제어기 40개, PLL 4개, 온도 센서 12개, ADC에 접근하는 방법으로 계획서에 정한 것은?

TAP 하나로 재구성 가능한 망을 구성하면 필요한 계측기만 체인에 넣어 접근 시간을 줄인다. → 08장 다시 보기

16. TAP 제어기의 상태를 바꾸는 신호는?

TCK 상승 엣지에서 TMS 값에 따라 16개 상태 사이를 이동한다. TDI·TDO는 데이터 경로다. → 08장 다시 보기

17. 12비트 ADC의 INL·DNL을 사인파 히스토그램으로 잴 때 TB-7 계획서가 약 13만 샘플을 잡은 근거는?

4,096 × 32 ≈ 13만. 코드당 샘플이 적으면 DNL 추정의 통계 오차가 커진다. → 09장 다시 보기

18. 16 Gb/s SerDes에서 BER 10⁻¹²를 신뢰도 95%로 직접 확인하지 않고 지터 주입·아이 마진 측정으로 대체한 이유는?

오류 0개로 95% 신뢰도를 얻으려면 약 3/BER 비트가 필요하다. 3×10¹² ÷ 16×10⁹ ≈ 190 s는 양산에서 받아들일 수 없다. → 09장 다시 보기

19. Vmin 측정 반복성 σ ≈ 5 mV인 TB-7에서 가드밴드를 0에서 15 mV로 넓히면?

시험 한계를 안쪽으로 당기면 측정 잡음 때문에 합격하던 참 불량이 걸러지지만 띠 안의 양품을 버린다. 3σ 근처가 TB-7의 단점이다. → 10장 다시 보기

20. 게이지 R&R이 공차의 30%로 나왔다. 가장 적절한 판단은?

보통 10% 이하가 바람직하고 30%면 측정 변동이 공차를 크게 잠식한다. 측정 잡음을 줄이는 것이 가드밴드를 넓히는 것보다 싸다. → 10장 다시 보기

21. 번인 125 °C·0.90 V, 사용 55 °C·0.75 V, Ea 0.7 eV, γ ≈ 10/V일 때 번인 2시간은 사용 몇 시간에 해당하나?

온도 가속 약 78배 × 전압 가속 약 4.5배 ≈ 350배이므로 2 h × 350 ≈ 700 h(약 1개월)다. → 11장 다시 보기

22. 모바일 TB-7이 전수 번인 대신 HVST와 표본 번인을 택한 가장 큰 이유는?

개당 테스트 예산이 $0.25~0.30인데 번인은 보드·오븐 시간과 취급 비용이 크다. 양산 안정 후에는 HVST와 표본 감시로 충분하다고 판단했다. → 11장 다시 보기

23. 평균 3.0 GHz, σ 0.18 GHz인 Fmax 분포에서 빈 A(≥ 3.2 GHz)의 비율에 가장 가까운 것은?

(3.2 − 3.0)/0.18 ≈ 1.11σ, 위쪽 꼬리는 약 13%다. 같은 계산으로 빈 B는 약 74%, 빈 C는 약 13%다. → 12장 다시 보기

24. 모든 측정이 규격 안인데도 DPAT가 칩을 불합격시키는 이유는?

이상치는 정상 집단과 다른 물리적 원인을 가질 가능성이 크다. 자동차 품질에서 특히 쓰며, 대가로 약간의 수율을 낸다. → 12장 다시 보기

25. 테스트 셀 원가 $250/h, WS 터치다운 4 s(4사이트), WS 수율 85%일 때 양품 다이당 WS 비용에 가장 가까운 것은?

4 s × $0.069/s ÷ 4 ≈ $0.069/다이, 양품 기준으로 ÷ 0.85 ≈ $0.08이다. → 13장 다시 보기

26. 사이트 수를 계속 늘려도 개당 비용이 어느 지점부터 거의 줄지 않는 이유가 아닌 것은?

커버리지는 사이트 수와 무관하다. 효율 손실, 장비 단가 증가, 가장자리 손실이 수확 체감을 만든다. → 13장 다시 보기

27. 칩렛·HBM 적층에서 KGD가 특히 중요한 이유는?

다이 8개를 쌓으면 각 99%라도 누적 약 92%다. 패키지 전에 품질을 보증해야 비싼 이웃 다이를 지킨다. → 14장 다시 보기

28. 데이터센터 고객이 SDC(조용한 데이터 오염)를 우려할 때 테스트 흐름에서 강화할 곳으로 가장 적절한 것은?

SDC는 주로 특정 경로의 지연·마진 결함이 특정 연산에서만 드러나는 것이다. 구조적 테스트에 더해 실작업 SLT와 전압·주파수 마진 스크린이 효과적이다. → 14장 다시 보기

29. 실험실 기준안에서 SLT를 '표본'으로 바꾸면 DPPM이 크게 오른다. 표본 SLT의 성격으로 옳은 것은?

5% 표본이면 개별 불량을 걸러 내는 효과도 약 5%뿐이다. 표본은 흐름이 건강한지 감시하는 도구이고, 스크린을 대신하지 못한다. → 15장 다시 보기

30. 파레토 프런티어 위에 있지 않은 테스트 계획이란?

지배당하는 계획은 비용이나 품질 중 하나를 손해 보지 않고도 개선할 수 있다. 프런티어 위의 계획끼리는 비용과 품질을 맞바꿀 뿐이다. → 15장 다시 보기

마치며

  1. 테스트는 결함을 직접 보지 않는다. 결함이 만든 전기적 증상을 폴트 모델로 추상화해 패턴으로 찾고, 모델이 놓치는 것은 다른 조건의 테스트를 겹쳐 메운다.
  2. 장비와 접촉이 측정의 바닥을 정한다. 핀 일렉트로닉스의 정확도, 프로브의 접촉 저항, 멀티 사이트 효율이 테스트 시간과 신뢰도를 함께 정한다.
  3. DFT는 시험 비용을 설계 단계에서 사는 것이다. 스캔·압축·BIST·IJTAG가 1,000만 플립플롭과 2,000개 메모리를 몇 초 안에 검사하게 만든다.
  4. 한계와 스크리닝은 확률의 문제다. 가드밴드는 과잉 불량과 유출을, 번인은 잠재 결함과 비용을 맞바꾼다. 통계적 이상치 스크린은 규격 안의 수상한 칩을 거른다.
  5. 최종 흐름은 제품이 정한다. DPPM·수율·비용의 삼각 맞바꿈을 한 모델에서 맞추고, 테스트 데이터는 YieldBook의 수율 분석으로, 걸러진 다이는 PackagingBook의 패키지로 이어진다.