노광기 한 대가 쉬지 않고 돌려면 입자를 걸러 낸 공기, 이온 하나 없는 물, ppb 순도의 가스, 끊기지 않는 전기, 그리고 그 전기가 만든 열을 빼낼 냉동기가 필요하다. 반도체 공장 위·아래·옆에는 또 하나의 공장이 있다. 클린룸에서 초순수, 가스, 전력, 냉동, 진동, 물류, 안전, 탄소, 팹 건설까지 — 가상 기준 팹 FAB-E의 숫자로 직접 계산하며 배우는 반도체 인프라 교과서다.
한 문장으로: 장비는 클린룸에 있지만, 장비를 살리는 것은 그 위와 아래에 있다. 아래 지도의 흐름 하나하나가 이 책의 한 장이다.
초순수·용수가스케미컬배기전력냉각수공조 공기폐수
이 책 전체가 예로 드는 가상의 300 mm 팹이다(교육용 가정, 실제 특정 팹이 아니다). 책을 끝내면 이 숫자들이 왜 이 크기인지, 서로 어떻게 묶여 있는지 계산할 수 있다.
순서대로 읽어도 좋고, 맡은 유틸리티부터 골라 읽어도 된다. 각 장은 개념 → 그림 → 수식 → 시뮬레이터 → 퀴즈 순서다.
직무나 관심사에 따라 이렇게 읽어 보자.
이어 읽기: 공정 자체는 ProcessBook, 수율은 YieldBook, 산업 구조는 ChipIndustryBook. 다른 반도체 책은 반도체 서가에서.