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InfraBook에 나오는 용어 247개입니다. 번호는 장·절이고, 누르면 그 절의 해당 문장으로 갑니다. 굵은 번호는 용어를 설명하는 곳입니다. 정의는 용어집에 있습니다.
247개
ㄱ
- 가가속도 jerk J 13·9
- 가스 감지기 gas detector 06·4, 06·5, 10·1, 14
- 가스 캐비닛 gas cabinet 06·1, 06·4, 06·5, 06·9, 08·9, 14·3, 14·6, 14·7, 14·8, 15·5
- 가압-배기 퍼지 pressure-vent cycle purge 06·8
- 가용도 availability A 01·7, 01·8, 01·9, 08·9, 11·6, 13·9, 14·9, 15·1, 15·2, 15·3, 15·4
- 가우시안 플룸 Gaussian plume model 14·4
- 감쇠비 damping ratio ζ 12·6
- 건식 냉각 코일 Dry Cooling Coil DCC 02·5, 02·6, 03·1, 03·2, 03·4, 03·5, 03·7, 03·9, 11·1, 11·3, 11·6
- 경보 홍수 alarm flood 01·9, 14·3, 15·7
- 고유진동수 natural frequency f_n 12·3, 12·4, 12·5, 12·6
- 고장 시 안전 fail-safe 14·7
- 고조파 harmonics 10·4, 10·9, 10·10
- 고형물 체류 시간 Solids Retention Time SRT 09·5
- 공급인증서 Renewable Energy Certificate REC 16·5, 16·7, 16·8
- 공기 스프링 air spring 12·5
- 공기분리장치 Air Separation Unit ASU 01·3, 06·1, 06·2, 06·4, 06·9, 15·5, 17·3
- 공정 냉각수 Process Cooling Water PCW 01·1, 01·2, 01·4, 01·8, 03·5, 03·7, 03·9, 11·1, 11·3, 11·5
- 공조 Heating, Ventilation and Air Conditioning HVAC 01·1, 01·2, 01·3, 01·7, 01·8, 01·9, 02·3, 03·1, 03·2, 03·3
- 공통 원인 고장 Common Cause Failure CCF 01·7, 08·9, 14, 15·4
- 과불화화합물 perfluorocompounds PFC 01·1, 01·5, 08·1, 08·4, 08·5, 09·2, 16·3, 16·4
- 교통 기본도 fundamental diagram of traffic flow 13·4
- 극자외선 노광 Extreme Ultraviolet lithography EUV 04·4, 06·1, 16·2, 17·6
- 기저 부하 base load 01, 16·2
ㄴ
- 냉각탑 cooling tower 01·2, 01·4, 01·8, 01·9, 05·1, 05·9, 09·1, 09·6, 10·1, 11·1
- 냉동톤 Refrigeration Ton RT 01·1, 01·4, 01·8, 03·5, 03·9, 08·6, 11·1, 11·2, 11·3, 11·6, 11·9, 17·1
- 노점 dew point 03·2, 03·3, 03·4, 03·7, 03·9
- 농축 로터 zeolite rotor concentrator 08·1, 08·8
- 농축 배수 Cycles of Concentration CoC 09·6, 11·4
- 능동 제진대 active vibration isolation 12·6
ㄷ
- 단방향 기류 unidirectional airflow 02·4, 02·5, 02·7, 03, 10·10
- 단시간 노출 한계 Short-Term Exposure Limit STEL 14·2
- 단일 고장점 Single Point of Failure SPOF 15·2
- 대수 제어 staging 11·6, 11·9, 13·6, 15·6
- 데드레그 dead leg 05·8, 06, 07·5
- 독성 가스 toxic gas 01·1, 06·4, 06·9, 08·4, 10·8, 14·3
- 동적 전압 보상기 Dynamic Voltage Restorer DVR 10·6
- 등전위 본딩 equipotential bonding 10·10
- 디스패칭 규칙 dispatching rule 13·7, 13·9
- 디지털 트윈 digital twin 11·6, 13·9, 15·6, 15·8, 15·10
ㄹ
ㅁ
- 막 생물 반응조 Membrane Bioreactor MBR 09·5
- 막 탈기기 membrane degasifier MDG 05·6
- 몬테카를로 일정 분석 Monte Carlo schedule risk analysis 17·9
- 무방류 Zero Liquid Discharge ZLD 09·6
- 무정전 전원 장치 Uninterruptible Power Supply UPS 01·6, 01·8, 01·9, 10·1, 10·2, 10·6, 10·8, 10·9, 11·9, 13·9, 15
- 물 수지 water balance 05·1, 05·9, 09·6, 16·9
- 물 스트레스 baseline water stress 09, 16·9, 16·10, 17
- 미니인바이런먼트 mini-environment 02·3, 02·8, 04·7, 06·2, 13·2
- 미리 깔기·단계 증설 build ahead / staged 17
ㅂ
- 방진복 cleanroom garment, bunny suit 01·2, 02·3, 02·7, 02·9
- 방호 계층 분석 Layer of Protection Analysis LOPA 14·7
- 밸브 매니폴드 박스 Valve Manifold Box VMB 01·2, 06·1, 06·4, 06·9, 07·3, 08·9, 14·3, 14·7, 14·9
- 벌크 가스 bulk gas 06·1, 06·3, 06·4, 06·9, 17·3
- 볼룸 ballroom 02·2, 02·3, 02·8, 02·9
- 부하손 load loss (copper loss) P_k 10·3
- 분리 수집 segregated collection 01·1, 05·9, 09·1, 09·6
- 분자 오염 Airborne Molecular Contamination AMC 01·1, 01·2, 01·6, 01·8, 01·9, 02·8, 02·9, 03·1, 03·2, 04·1
- 분해·제거 효율 Destruction and Removal Efficiency DRE 01·8, 08·5, 08·6, 08·8, 16·4, 16·7
- 불화칼슘 침전 CaF₂ precipitation 09
- 블렌딩 blending 07·4
- 블로다운 blowdown 08·7, 09, 11·4
- 비상 정지 Emergency Off EMO 10·6, 14·7, 14·10, 15·6
- 비상발전기 emergency generator 10·1, 10·8, 14
- 비저항 resistivity 05·1, 05·2, 05·3, 05·6, 05·7, 05·8, 05·9, 06·1
ㅅ
- 사용처 Point of Use POU 01·2, 01·5, 06·1, 06·3, 06·4, 06·6, 07·2, 07·6, 07·8, 08·1
- 사이클 타임 cycle time CT 01·9, 13·6, 17
- 산성 배기 acid exhaust 01·5, 08·1, 08·7
- 산소 결핍 oxygen deficiency 14·1, 14·3
- 상시 닫힘 밸브 normally closed valve NC 06, 14
- 생물막 biofilm 05·5, 05·7, 05·8
- 생산 관리 시스템 Manufacturing Execution System MES 13·2
- 서브팹 sub-fab 01·2, 01·5, 02·5, 02·6, 03·1, 06·4, 07·3, 08·4, 09·1, 12·1
- 설비 투자비 capital expenditure CAPEX 01·8, 16, 17·1, 17·6, 17·7
- 성적계수 Coefficient of Performance COP 01·3, 01·4, 01·8, 01·9, 03·9, 11·1, 11·2, 11·3, 11·4, 11·7, 11·8, 11·9
- 셸 퍼스트 shell-first 17·5
- 순간 전압 강하 voltage sag / dip sag 01·1, 01·6, 10·5, 13·9
- 순도 등급 purity grade (nN) 06·6
- 순현재가치 net present value NPV 17·7
- 순환 루프 recirculation loop 01·5, 05·8, 07·3, 07·5
- 스케일 scale 05·5, 11·4
- 스토커 stocker 01·2, 04·7, 04·8, 12·3, 13·2, 13·3, 13·6, 13·8, 13·9
- 스토크스 법칙 Stokes' law 09·3
- 슬러리 slurry 01·1, 01·9, 04·2, 05·9, 07·1, 07·3, 07·7, 07·8, 09·1, 09·4
- 습공기선도 psychrometric chart 03·3, 03·9, 11·8
- 습구 온도 wet-bulb temperature 10·1, 11·3, 11·4, 11·7, 17·2
- 시간가중평균 Time-Weighted Average TWA 14·2, 14·3
- 시설 오버헤드 facility overhead 01, 16·2
- 신뢰성 블록 다이어그램 Reliability Block Diagram RBD 15·2
ㅇ
- 아웃가싱 outgassing 04·2, 04·3, 04·8
- 액체 질소 liquid nitrogen LN₂ 06·1, 06·2, 14·1, 14·5, 15·5
- 액화가스 liquefied gas 06·1, 06·5
- 어프로치 approach 11·3, 11·4, 11·7
- 얼랑 B Erlang B formula 13·8
- 에너지 저장 장치 Energy Storage System ESS 10·8, 16·8
- 여유 float 03·2, 03·4, 04·2, 06·2, 06·4, 09·3, 10·2, 11·1, 11·6, 13·1
- 역률 power factor PF 01·8, 10·2, 10·4, 10·9
- 역삼투 Reverse Osmosis RO 01·9, 05·2, 05·4, 05·5, 05·6, 05·7, 05·9, 09·1, 09·6
- 연결 공사 tie-in 17·8
- 열팽창 계수 Coefficient of Thermal Expansion CTE 03
- 염기성 AMC bases MB 04·2, 05·7
- 예방 정비 preventive maintenance PM 02·3, 02·7, 02·9, 03·8, 15·9
- 예지 정비 predictive maintenance PdM 05·5, 15·6, 15·9, 15·10
- 오버레이 overlay 03·6, 05·8, 11·5, 12·1
- 온도 리프트 lift 11·2
- 와플 슬래브 waffle slab 01·2, 12·4, 13·9, 17·1, 17·4, 17·9
- 완충 시간 buffer / ride-through time 15·5
- 외기조화기 Make-up Air Unit MAU 01·2, 01·4, 01·8, 02·5, 03·1, 03·2, 03·3, 03·4, 03·5, 03·7
- 요구 시 작동 실패 확률 Probability of Failure on Demand PFD 14·7
- 욕조 곡선 bathtub curve 15·1
- 용존산소 Dissolved Oxygen DO 05·1, 05·2, 05·4, 05·6, 09·5
- 용해도곱 solubility product K_sp 09·2, 09·7
- 운영비 operating expenditure OPEX 16, 17·6
- 원단위 unit consumption, intensity 01·3, 16·1, 16·2, 16·6, 16·9, 16·10
- 원수 raw water 01·1, 01·3, 01·9, 05·1, 05·5, 05·7, 05·9, 09·2, 09·6, 09·9
- 월 투입 웨이퍼 수 Wafer Starts Per Month WSPM 01·1, 06·2, 06·9, 13·1, 17·4
- 위치 기반·시장 기반 location-based / market-based 16
- 응집 coagulation 05·4, 07·1, 07·8, 09·1, 09·2, 09·3, 09·4, 09·8
- 이동 단위 수 Number of Transfer Units NTU 05·6, 08·7
- 이오나이저 ionizer 10·10, 12·9
- 이용률 utilization rate 01·1, 01·3, 01·8, 01·9, 08·5, 09·6, 09·9, 13·8, 16·4, 16·7, 16·9, 16·10
- 이중 수전 dual utility feed 10·2, 10·3, 17
- 이중관 double containment, coaxial tubing 06·1, 06·4, 06·6, 07·7, 14·3
- 인버터 Variable Frequency Drive VFD 08·3, 10·1, 10·4, 10·6, 10·8, 10·9, 10·10, 11·3, 11·6, 11·9, 12·3
- 인터록 interlock 01·6, 02·9, 07·3, 08·4, 08·9, 10·1, 10·6, 14·7, 15·5, 15·6
- 인트라베이·인터베이 intrabay / interbay 13
- 일일 탱크 day tank 07·3, 07·5, 07·8
ㅈ
- 자기장 감쇠 magnetic field decay 12
- 자동 물류 반송 시스템 Automated Material Handling System AMHS 01·8, 12·3, 13·2, 13·8, 13·9
- 자연발화성 pyrophoric 06·1, 06·5, 06·6, 08·4, 14·1, 14·2, 14·8, 14·9
- 자연산화막 native oxide 04·4, 04·8, 05·6
- 잔여 수명 Remaining Useful Life RUL 15·9
- 잠금·표지 Lockout/Tagout LOTO 14·10, 15·10
- 잠열 latent heat 03·5, 11·2, 11·4, 16·9
- 재공 Work In Process WIP 13·6, 13·8, 15·10
- 재유입 re-entrainment 04·2, 04·3, 04·8, 14·4, 17
- 재이용률 reuse ratio 01·1, 01·3, 01·8, 01·9, 09·6, 09·9, 16·9, 16·10
- 재주문점 reorder point ROP 07·9
- 재진입 흐름 re-entrant flow 13·1
- 전고조파 왜형률 Total Harmonic Distortion THD 01·8, 10·9
- 전기탈이온 Electrodeionization EDI 05·2, 05·4, 05·6
- 전달률 transmissibility T 12·5, 12·6
- 전력 구매 계약 Power Purchase Agreement PPA 16·5, 16·7, 16·8, 16·10
- 전력 배출계수 grid emission factor 10, 11·8, 16·5
- 전해연마 electropolishing EP 06·4, 06·6, 06·7, 07·7
- 절대습도 humidity ratio w 03·2, 03·3, 03·4, 03·5
- 접액부 wetted parts 07·2, 07·7
- 정상상태 농도 steady-state concentration 02·7, 04, 14
- 정압 static pressure 01·1, 08·1, 08·2, 08·3, 08·9, 14·7
- 정전기 방전 Electrostatic Discharge ESD 06·1, 10·10, 12·9
- 정제기 purifier 06·2, 06·3, 06·4
- 제한 오리피스 Restrictive Flow Orifice RFO 06·5, 14·6, 14·8, 14·10
- 주공정 critical path 15, 17·2, 17·4, 17·9
- 중앙 유틸리티동 Central Utility Building CUB 01·2, 11, 12·3, 12·4, 17·3, 17·4, 17·5
- 중앙 케미컬 공급 Chemical Distribution System CDS 01·8, 07·3
- 증기압축 냉동 사이클 vapor-compression refrigeration cycle 11·2
- 지구온난화지수 Global Warming Potential GWP 06·1, 08·5, 10·2, 11·3, 16·1, 16·3, 16·4, 16·6, 16·7, 16·10
- 질량유량제어기 Mass Flow Controller MFC 06·4
- 질소 퍼지 N₂ purge 01·3, 01·9, 02·8, 04·7, 04·8, 06, 13·2, 13·8, 14·5, 14·10
ㅊ
- 차압 계층 pressure cascade 03·8
- 챔버 클리닝 chamber cleaning 06·1, 08, 16
- 천장 버퍼 Overhead Buffer OHB 04·8, 13·2, 13·3, 13·6, 13·8
- 천장 주행 반송 Overhead Hoist Transport OHT 01·1, 01·2, 01·9, 02·8, 04·7, 12·3, 13·1, 13·2, 13·3, 13·4
- 초순수 Ultrapure Water UPW 01·1, 01·2, 01·3, 01·4, 01·6, 01·7, 01·8, 01·9, 05·1, 05·2
- 총유기탄소 Total Organic Carbon TOC 01·1, 01·6, 01·8, 05·1, 05·2, 05·4, 05·7, 05·8, 09·1, 09·5, 09·6, 09·8
- 최대 투과 입자 크기 Most Penetrating Particle Size MPPS 02·1, 02·5, 04·1
- 축열식 연소 산화 장치 Regenerative Thermal Oxidizer RTO 08·1, 08·8, 16·3, 16·6
- 충전탑 packed tower 08·7
- 취수·소비·방류 withdrawal / consumption / discharge 09, 16
- 침착 속도 deposition velocity 01·6, 02·10
ㅋ
ㅌ
ㅍ
- 파과 breakthrough 01·6, 04·6, 05·7, 06·3, 06·4
- 팬 법칙 fan affinity laws 08·3, 11
- 팬 필터 유닛 Fan Filter Unit FFU 01·2, 01·4, 01·8, 01·9, 02·3, 02·5, 02·6, 02·8, 02·9, 03·1
- 팹 인프라 fab infrastructure, facility 01·1, 01·8
- 평균 고장 간격 Mean Time Between Failures MTBF 01·7, 15·1, 15·10
- 평균 복구 시간 Mean Time To Repair MTTR 01·7, 15·1, 15·10
- 폭발 하한계 Lower Explosive Limit LEL 08·8, 14·1, 14·2, 14·3, 14·6
- 표면 부하율 surface overflow rate Q/A 09·3
- 프리쿨링 free cooling (water-side economizer) 10·1, 11·1, 11·4, 11·5, 11·6, 11·7, 11·9, 16·7, 17·2
- 플록 형성 flocculation 09·3
- 필수 조건 hard constraint 17·2
- 필터 정격 filter rating 07·6
ㅎ
- 한계감축비용 곡선 Marginal Abatement Cost Curve MACC 16·7, 16·10
- 한외여과 Ultrafiltration UF 05·4, 05·7, 05·8, 09·1
- 헤이즈 haze 04·2, 04·4
- 현열 sensible heat 03·1, 03·2, 03·3, 03·5, 11·1, 11·3, 11·4
- 혼상 이온교환 mixed bed ion exchange MB 04·2, 05·4, 05·7
- 화학적 기계 연마 Chemical Mechanical Planarization CMP 01·1, 04·2, 05·1, 05·9, 07·1, 07·8, 09·1, 09·4, 09·8
- 화학증폭 레지스트 Chemically Amplified Resist CAR 04·2, 04·4
- 환기 횟수 Air Changes per Hour ACH 01·9, 02·5, 02·6, 02·7, 03·1, 14·4
- 회복 시험 recovery test 02·7
- 회수 reclaim 01·4, 01·9, 03·9, 05·1, 05·5, 05·9, 06·2, 06·9, 07·9, 08·1
- 회수율 recovery r 01·9, 02·7, 05·1, 05·5, 05·9, 06·2, 08·8, 09·6, 16·7
- 훅업 hook-up 01·5, 01·8, 17·1, 17·4, 17·6
- 흡착형 저압 용기 Sub-atmospheric Delivery System SDS 06·1, 06·5, 14·1, 14·2
- 희석 불산 Diluted HF DHF 07·1, 07·4, 09
- 히트펌프 heat pump 11·4, 11·8, 11·9, 16·7
A
- A 가중 A-weighting dB(A) 12·7
D
E
F
G
H
I
M
- M/M/c 대기열 M/M/c queue 13·5
N
P
S
- SC1 Standard Clean 1 (APM) SC1 07·1, 07·2, 07·4, 08·1, 09·5
- SCADA Supervisory Control and Data Acquisition SCADA 15·6
- Scope 1 Scope 1 (direct emissions) 08·5, 10·2, 11·3, 16·1, 16·2, 16·3, 16·4, 16·6, 16·9, 16·10
- Scope 2 Scope 2 (purchased electricity) 10, 16·1, 16·3, 16·5, 16·6, 16·7, 16·8
- Scope 3 Scope 3 (value chain) 16·1, 16·3, 16·6, 16·10
- SEMI E84 Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface E84 04·7, 13·2
- SEMI F21 Classification of Airborne Molecular Contaminant Levels in Clean Environments 04·2
- SEMI F47 Specification for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity 01·1, 01·6, 10·6
- SEMI F63 Guide for Ultrapure Water Used in Semiconductor Processing 05·2
- SEMI S2 Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment S2 14·7, 14·9, 14·10, 16·5, 16·6
T
U
V
W
- Weibull 분포 Weibull distribution β, η 15·10
#
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